标准编号：GB/T 15861-2012
标准名称：离子束蚀刻机通用规范
英文名称：General specification of ion beam etching system
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
标准状态：现行
文件格式：PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理，若无意中侵犯到您的权利，敬请联系我们，我们将及时删除相关资源。
标准编号：GB/T 15861-2012
标准名称：离子束蚀刻机通用规范
英文名称：General specification of ion beam etching system
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
标准状态：现行
文件格式：PDF