GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

Y唐老鸭 · 发表于 2022-12-16 17:30:26

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。
本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
标准编号：GB/T 15861-2012
标准名称：离子束蚀刻机通用规范
英文名称：General specification of ion beam etching system
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 15861-1995
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人员：陈特超、周大良
文件格式：PDF
文件页数：11页
文件大小：3.82MB

标准全文下载：

GBT 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范.pdf (3.82 MB)

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