标准编号：GB/T 15862-2012
标准名称：离子注入机通用规范
英文名称：General specification of ion implantation equipment
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：GB/T 15862-2012
标准名称：离子注入机通用规范
英文名称：General specification of ion implantation equipment
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
标准状态：现行
文件格式：PDF