标准编号：GB/T 16879-1997
标准名称：掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
英文名称：Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：GB/T 16879-1997
标准名称：掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
英文名称：Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF