标准编号：GB/T 16878-1997
标准名称：用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
英文名称：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：GB/T 16878-1997
标准名称：用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
英文名称：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF