标准编号：ASTM F1238-1995(2003)
标准名称：微电子设备用耐熔硅化物溅射电极
英文名称：Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications
发布部门：美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期：
实施日期：1995-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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