标准编号:ASTM F1238-1995(2011)
标准名称:微电子设备用耐熔硅化物溅射电极的标准规范
英文名称:Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications
发布部门:美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期:
实施日期:1995-01-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们,我们将及时删除相关资源。