标准编号：ASTM F1238-1995
标准名称：微电子设备用耐熔硅化物溅射电极
英文名称：Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications
发布部门：
发布日期：
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：微电子设备用耐熔硅化物溅射电极
英文名称：Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications
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