标准编号：T/IAWBS 011-2019
标准名称：导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法
英文名称：Test methods for measuring resistivity of conductive silicon carbide wafers with a noncontact eddy-current gauge
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2019-12-27
实施日期：2019-12-31
标准状态：现行
文件格式：PDF
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