标准编号：T/IAWBS 012-2019
标准名称：碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法
英文名称：Test Method for Surface Quality and Micropipe?Density?of Silicon Carbide?Single Crystal?Polishing Wafers——Confocal and Differential Interferometry Optics
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2019-12-27
实施日期：2019-12-31
标准状态：现行
文件格式：PDF
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