标准编号:T/IAWBS 010-2019
标准名称:碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法
英文名称:Detection method for measuring the surface Detection method for measuring the surface quality and micropipe densityof polished monocrystalline silicon carbide wafers-Laser Scattering Method
发布部门:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期:2019-12-27
实施日期:2019-12-31
标准状态:现行
文件格式:PDF
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