查看: 42|回复: 0

T/CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法

32 主题	0 回帖	138 积分

童生

积分: 138

发消息

发表于 2024-1-2 13:44:40 | 显示全部楼层 |阅读模式

本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。
本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行。
标准编号：T/CCGA 90004-2023
标准名称：泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法
发布部门：中国工业气体工业协会
发布日期：2023-12-18
实施日期：2024-01-18
标准状态：现行/即将实施
文件格式：PDF
文件页数：12页
文件大小：1.02MB

标准全文下载：

TCCGA 90004-2023.pdf (1.02 MB)

文档首页截图如下：

T_CCGA

免责声明 1、本站所有资源均来自会员分享或网络收集整理,仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如本帖侵犯到任何版权问题，请立即告知本站(qbw86@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；

		自动登录	找回密码
密码			立即注册

T/CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解 移除效率的测试方法

相关帖子

T/CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法