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T/CCGA 30007-2022 电子级三氟化氯

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书童

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发表于 2023-4-15 23:29:26 | 显示全部楼层 |阅读模式

本标准规定了电子级三氟化氯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、储运及安全信息的要求。
本标准适用于以氟气和氯气为原料制备的三氟化氯产品，该产品主要用于半导体等领域。
标准编号：T/CCGA 30007-2022
标准名称：电子级三氟化氯
英文名称：Electronic chlorine trifluoride
发布部门：中国工业气体工业协会
发布日期：2022-12-28
实施日期：2023-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：10页
文件大小：1.52MB

标准全文下载：

TCCGA 30007-2022 电子级三氟化氯.pdf (1.52 MB)

文档首页截图如下：

T_CCGA

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