标准编号：T/IAWBS 003-2017
标准名称：碳化硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
英文名称：Silicon carbide epitaxial layers—Determination of carrier concentration—Mercury probe capacitance-voltages method
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2017-12-20
实施日期：2017-12-31
标准状态：现行
文件格式：PDF
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