标准编号：GB/T 39159-2020
标准名称：集成电路用高纯铜合金靶材
英文名称：High purity copper alloy target for integrated circuit
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2020-11-19
实施日期：2021-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：集成电路用高纯铜合金靶材
英文名称：High purity copper alloy target for integrated circuit
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2020-11-19
实施日期：2021-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF