标准编号:GB/T 34899-2017
标准名称:微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
英文名称:Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
发布部门:国家质检总局 国家标准委
发布日期:2017-11-01
实施日期:2018-05-01
标准状态:现行
文件格式:PDF

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