标准编号：GB/T 34898-2017
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
英文名称：Micro electromechanical system technology—Test method for thenonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
发布部门：国家质检总局 国家标准委
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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