标准编号:GB/T 32281-2015
标准名称:太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
英文名称:Test method for measuring oxygen,carbon,boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock—Secondary ion mass spectrometry
发布部门:国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期:2015-12-10
实施日期:2017-01-01
标准状态:现行
文件格式:PDF

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