标准编号：GB/T 31351-2014
标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
英文名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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