GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

Y唐老鸭 · 发表于 2022-12-25 22:51:09

本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。
本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。
标准编号：GB/T 31351-2014
标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
英文名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
标准状态：现行
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
起草人员：陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘振洲
文件格式：PDF
文件页数：6页
文件大小：320.49KB

标准全文下载：

GBT 31351-2014.pdf (320.49 KB)

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GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

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