标准编号：GB/T 30116-2013
标准名称：半导体生产设施电磁兼容性要求
英文名称：Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2013-12-17
实施日期：2014-04-15
标准状态：现行
文件格式：PDF
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