标准编号：IEC 62047-3-2006
标准名称：半导体器件 微机电设备 第3部分：拉伸试验的薄膜标准试验片
英文名称：Semiconductor devices - Micro electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing
发布部门：
发布日期：2006-08-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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