标准编号：IEC 62047-2-2006
标准名称：半导体装置 微型机电装置 第2部分：薄膜材料的拉伸试验方法
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
发布部门：
发布日期：2006-08-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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