标准编号：GB/T 26068-2010
标准名称：硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
英文名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
标准状态：作废
文件格式：PDF
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