标准编号:GB/T 26067-2010
标准名称:硅片切口尺寸测试方法
英文名称:Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2011-01-10
实施日期:2011-10-01
标准状态:现行
文件格式:PDF

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