标准编号：GB/T 20176-2006
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
英文名称：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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