标准编号：GB/T 20175-2006
标准名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
英文名称：Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered system as reference materials
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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