标准编号:GB/T 24582-2009
标准名称:酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
英文名称:Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
标准状态:现行
文件格式:PDF

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