标准编号：GB/T 24581-2009
标准名称：低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
英文名称：Test method for low temperature FT-IR analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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