标准编号:GB/T 24577-2009
标准名称:热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
英文名称:Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
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