标准编号：GB/T 24575-2009
标准名称：硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
英文名称：Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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