标准编号：GB/T 15873-1995
标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则
英文名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：GB/T 15873-1995
标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则
英文名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准状态：现行
文件格式：PDF