GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则

xuzhou2163 · 发表于 2022-11-26 09:55:43

本标准规定了半导体设施接口技术文件(以下简称接口文件)编写的基本要求和格式。
本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。
标准编号：GB/T 15873-1995
标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则
英文名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准状态：现行
起草单位：中国华晶电子集团公司
起草人员：濮川、吴兵、赵雨生、孙勤
文件格式：PDF
文件页数：15页
文件大小：624.01KB

标准全文下载：

GBT 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则.pdf (624.01 KB)

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GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则

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