标准编号:EN 62374-1-2011
标准名称:半导体器件.第1部分:金属层之间的时间相关的介质击穿(TDDB)试验(IEC 62374-1-2010).德文版本EN 62374-1-2010 + AC-2011
英文名称:Semiconductor devices - Part 1: Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers (IEC 62374-1:2010); German version EN 62374-1:2010 + AC:2011
发布部门:欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期:
实施日期:2011-06-01
标准状态:现行
文件格式:PDF