标准编号：EN 62047-5-2011
标准名称：半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关(IEC 62047-5-2011).德文版本 EN 62047-5-2011
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches (IEC 62047-5:2011); German version EN 62047-5:2011
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2012-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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