标准编号：EN 62047-4-2010
标准名称：半导体器件.微电机器件.第4部分:MEMS一般要求(IEC 62047-4-2008);德文版本EN 62047-4-2010
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2011-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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