标准编号：ASTM F390-2011
标准名称：用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法
英文名称：Standard Test Method for Sheet Resistance of Thin Metallic Films With a Collinear Four-Probe Array
发布部门：美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期：
实施日期：2011-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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