标准编号:ASTM F390-1998(2003)
标准名称:用共线四探针法对金属薄膜的薄膜耐力的试验方法
英文名称:Standard Test Method for Sheet Resistance of Thin Metallic Films With a Collinear Four-Probe Array
发布部门:美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期:
实施日期:1998-01-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
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