标准编号：SJ 21498-2018
标准名称：声表面波器件镀膜工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for wafer film coating process of surface acoustic wave device
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：声表面波器件镀膜工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for wafer film coating process of surface acoustic wave device
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF