SJ 21498-2018 声表面波器件镀膜工艺技术要求

哈瓜 · 发表于 2023-1-16 11:00:29

本标准规定了声表面波器件镀金属膜工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及声表面波器件镀金属膜」_艺的典型工艺流程、各土序技术、检验等详细要求。
本标准适用于军用声表面波器件的电子束蒸发和磁控溅射镀金属膜工艺。
标准编号：SJ 21498-2018
标准名称：声表面波器件镀膜工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for wafer film coating process of surface acoustic wave device
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准状态：现行
起草单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：2.32MB

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