标准编号：SJ 21262-2018
标准名称：MEMS 惯性器件芯片在片测试技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：SJ 21262-2018
标准名称：MEMS 惯性器件芯片在片测试技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
标准状态：现行
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