标准编号：SJ 21479-2018
标准名称：磷化铟晶片研磨工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for the lapping process of InP wafer
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：SJ 21479-2018
标准名称：磷化铟晶片研磨工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for the lapping process of InP wafer
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF