标准编号:T/CEMIA 024-2021
标准名称:半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范
英文名称:Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth
发布部门:中国电子材料行业协会
发布日期:2021-07-15
实施日期:2021-12-25
标准状态:现行
文件格式:PDF
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标准名称:半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范
英文名称:Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth
发布部门:中国电子材料行业协会
发布日期:2021-07-15
实施日期:2021-12-25
标准状态:现行
文件格式:PDF