标准编号：T/CEMIA 023-2021
标准名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚
英文名称：Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth
发布部门：中国电子材料行业协会
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：T/CEMIA 023-2021
标准名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚
英文名称：Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth
发布部门：中国电子材料行业协会
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
标准状态：现行
文件格式：PDF