标准编号:T/IAWBS 015-2021
标准名称:氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文名称:Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
发布部门:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期:2021-09-15
实施日期:2021-09-22
标准状态:现行
文件格式:PDF
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