标准编号:T/IAWBS 014-2021
标准名称:碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
英文名称:Test method for dislocation density of silicon carbide polished wafers
发布部门:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期:2021-09-15
实施日期:2021-09-22
标准状态:现行
文件格式:PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们,我们将及时删除相关资源。
标准编号:T/IAWBS 014-2021
标准名称:碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
英文名称:Test method for dislocation density of silicon carbide polished wafers
发布部门:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期:2021-09-15
实施日期:2021-09-22
标准状态:现行
文件格式:PDF