标准编号：SJ/T 11707-2018
标准名称：硅通孔几何测量术语
英文名称：Terminology for through silicon via geometrical metrology
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2018-02-09
实施日期：2018-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：硅通孔几何测量术语
英文名称：Terminology for through silicon via geometrical metrology
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文件格式：PDF