标准编号：SJ/T 11502-2015
标准名称：碳化硅单晶抛光片规范
英文名称：Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：碳化硅单晶抛光片规范
英文名称：Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF