本标准规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。
标准编号：SJ/T 11502-2015
标准名称：碳化硅单晶抛光片规范
英文名称：Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、河北同光晶体有限公司
文件格式：PDF
文件页数：17页
文件大小：3.75MB
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