标准编号:SJ/T 11494-2015
标准名称:硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法
英文名称:Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
标准状态:现行
文件格式:PDF

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